最高分解能 : 10 pm

SET-SC2020

最高分解能 : 2.1 pm

BS78

最高分解能 : 6.1 pm

BL50H

最高分解能 : 3.8 pm

BH25

最高分解能 : 10 nm

BL57

最高分解能 : 0.0012"[秒角]

SET-HD100

最高分解能 : 0.000019"[秒角]

BH20

最高分割 : 65,536分割

BD700