株式会社マグネスケール

Laserscale

BH20

BH20の特徴

高精度、高分解能、高速応答であり、小型・反射型の回転レーザスケール。HDD製造装置、精密測定器、非球面加工機などの高分解能角度計測に最適。

  • 信号波長:250nm
  • 高速応答:1,800mm/s
     160min-1 r =41mmスケール時
     555min-1 r =12mmスケール時
  • 高分解能:236/回転(r=41mmスケール、216分割)
     = 0.09nrad
  • ラインナップ:原点付、原点無し
  • 厚み12mmの薄型ヘッド
  • 各種分解能、出力形式のインターポレータを用意
  • 真空対応(特殊仕様品)

スペック

検出ヘッド 主な仕様
型名 BH20-RED BH20-NED
スケール全長(直線/回転)
精度(20℃にて)
信号波長 250nm
原点位置 1点
原点検出方向 片方向
光源 半導体レーザ  790nm 出力5mW
検出方式 回折格子走査式
使用温度範囲 10℃~30℃ 結露のないこと
保存温度範囲 0℃~50℃ 結露のないこと
最大応答速度(注1) 1,800mm/s
信号スケール(BE10)主な仕様

レーザスケールは半導体レーザを使用しています。レーザ光は人体に有害ですので、検出ヘッド部をのぞき込まないようにしてください。

記載内容は予告なしに変更する場合があります。

検出半径 12.032mm 27.073mm 36.097mm 41.723mm
スケール内径(直径) 8.5mm 37mm 57mm 68mm
スケール外径(直径) 27mm 60mm 78mm 89mm
格子ピッチ 1.0μm
1回転当たり出力パルス数 302,400パルス/回転 680,400パルス/回転 907,200パルス/回転 1,048,576パルス/回転
最大応答速度(注1) 1,428min-1 634min-1 476min-1 411min-1
  • 注1)アナログ出力、ヘッドケーブル長1mの場合です。ケーブル長が最大3mの場合、速度は1mケーブル2/3になります。
  • ※スケールとヘッドが別売の場合は、信号調整が必要となります。

取扱説明書

カタログ

BH20 Series 日本語 BH20 カタログ 日本語 PDF
BH20 Series 英語 BH20 カタログ 英語 PDF

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