2022年12月14日(水)～16日(金) 　10:00-17:00

マグネスケール展示位置

東京ビッグサイト 東4ホール 4234

公式サイト　
https://www.semiconjapan.org/jp

12月14日(水)～16日(金)の3日間、東京ビッグサイトで開催されましたSEMICON Japan 2022 では、ご多忙中にも関わらず、弊社ブースにお立ち寄りいただき誠にありがとうございました。おかげさまをもちまして、盛況のうちに展示会を終了することができましたことを心よりお礼申し上げます。

出展製品

• Multi DoF Measurement System

  3次元計測システムに特化した新型Zセンサを初出展します。新型Zセンサ2次元スケールシステムにより、省スペースでの6DoF計測が実現します。
  
  

  

• 精密ステージの高精度評価用スケール

  2次元スケールで、X-Y座標を同時に計測することにより、直交度に注目したステージ挙動を測定可能に。大気の影響を受けにくい計測が可能で、出荷前検査や精度向上の開発用途に最適です。
  
  

  

• 高精度角度校正システム

  独自のVEDAメソッドを使用した自己校正で一周±0.1秒角度の高精度を実現。 ロータリテーブルの誤差計測や校正作業が、レーザ干渉計並みの精度で可能です。180°自己校正を実現した新バージョン登場。
  JCSS認証によりトレーサビリティを保証しています。

  

• レーザスケール BL50Hラインナップ

  高分解能、高速応答、低ノイズを両立させたレーザスケールシステムです。 1D、1.5D、2Dと多様化する用途に加え、真空計測にも対応。広い角度許容とクリアランスを実現させました。