2021年12月15日(水)～17日(金) 　10:00-17:00

マグネスケール展示位置

東京ビッグサイト 東2ホール 2408

公式サイト　
https://www.semiconjapan.org/jp

12月15日(水)～17日(金)の3日間、東京ビッグサイトで開催されましたSEMICON Japan 2021 Hybrid では、ご多忙中にも関わらず弊社ブースにお立ち寄りいただき誠にありがとうございました。おかげさまをもちまして、盛況のうちに展示会を終了することができましたことを心よりお礼申し上げます。

出展製品

• 精密ステージの高精度評価用スケール

  2DレーザスケールはX-Y座標を10pmの高分解能で同時に計測できます。大気の影響を受けずに計測が可能で、出荷前検査や精度向上の開発用途に最適です。
  
  

  

• 高精度角度校正システム

  角度の誤差を0.0012秒の高分解能で検出し、ロータリテーブルの速度リップルの解析や、回転軸の角度の校正を行うことができます。
  JCSS認証によりトレーサビリティを保証しています。

  

• 最新レーザスケール BL50Hラインナップ

  高分解能、高速応答、低ノイズを両立させたレーザスケールシステムです。 1D、1.5D、2Dと多様化する用途に対応。広い角度許容とクリアランスを実現させました。

  

• 非接触変位センサ

  10mmの計測範囲を2.1pmの高分解能で計測可能です。ステージのチルトの計測や、2Dスケールと組合わせて使用することで3Dの変位検出が可能になります。