株式会社マグネスケール

最高分解能 : 10 pm

SET-SC2020

SET-SC2020の特徴

精密ステージ精度評価のニュースタンダード

  • 高分解能、高周波数
  • 大気の影響を受けず干渉計に劣らない高精度な測定が可能
  • 周辺温度に影響されないゼロ膨張ガラスを使用
  • 広いワーキングディスタンスで取り付けが容易、縦置きも可能

スペック

主な仕様

レーザスケールは半導体レーザを使用しています。レーザ光は人体に有害ですので、検出ヘッド部をのぞき込まないようにしてください。
※ 安全に関するご注意 : 製品を安全にお使いいただくために、ご使用の前に必ず「取扱説明書」をよくお読みください。
※ 本製品は、リスト規制 : 測定装置 輸出管理令別表第1の2項(12)2、省令第1条第十七号ロ(一)に該当します。輸出に関しましては、関連法規を確認し許可を得て輸出してください。
※ 他の有効長につきましては、弊社営業までお問い合わせください。

記載内容は予告なしに変更する場合があります。

型名 SET-SC2020
有効長 200×200 mm
信号周期 400 nm
最高分解能 10 pm
累積精度 ±0.5 µm (補正後、スケール有効長200×200 mm)
ワーキングディスタンス 2.9±0.2 mm
XY直交度 ±0.3秒 (補正後)
スケール材質と熱膨張係数 ゼロ膨張ガラス : 0.1×10-6/℃
スケール台座材質と熱膨張係数 SS400 : 11.8×10-6/℃、石英ガラス: 0.5×10-6/℃
測定速度 300 m/s
ヘッド質量 0.2 kg (ケーブルは含まない)
ケーブル長 3 m
入出力 インクリメンタル対応BiSS C、USB
外観 (梱包) キャリーケース付
ソフトウェア 計測用ソフトウェア (CSVデータ出力)、真円度測定用ソフトウェア、リサージュ確認ソフトウェア

取扱説明書

お問い合わせください。

※ファイルが見つからない場合はお問合せください。

カタログ

「レーザスケール総合カタログ」をご確認ください。

https://www.magnescale.com/jp/laserscale/

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