BS78

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BS78の特徴

高速・高分解能でありながら、安定した超精密測定を実現。精密ステージ、半導体検査・製造装置、超精密加工機などに最適。

光波干渉計を超える信号波長138 nmの高分解能スケール
湿度・気圧・空気の乱れに影響を受けない高安定性
原点精度:±0.1 µm
精度:±0.04 µm以下(有効長40 mm)
完全非接触原理的に戻り誤差が発生しません
有効長:40～420 mm、9種類 (-R/-RS)
有効長:10～420 mm、10種類 (-N/-NS)
真空、非磁性対応 (特殊仕様)
低膨長ガラス使用:－0.7×10^-6/℃ (有効長:10～420 mm)
分解能:2.1 pm

スペック

主な仕様
レーザスケールは半導体レーザを使用しています。レーザ光は人体に有害ですので、検出ヘッド部をのぞき込まないようにしてください。記載内容は予告なしに変更する場合があります。
型名	BS78
有効長：L (mm)	10 / 40 / 70 / 120 / 170 / 220 / 270 / 320 / 370 / 420 (10はN/NSのみ)
スケール全長	58 mm (有効長10 mm : 片持ちタイプ)　有効長+26 mm (有効長40～420 mm)
最大可動長	有効長＋2 mm (有効長10 mm : 片持ちタイプ)　有効長＋10 mm (有効長40～420 mm)
精度 (20℃にて)	NSタイプ/RSタイプ : ±0.03 µm (有効長10 mm) (NSタイプのみ) ±0.04 µm (有効長40 mm) ±0.10 µm (有効長70 / 120 mm) ±0.18 µm (有効長170 / 220 mm) ±0.25 µm（有効長270 mm) ±0.34 µm (有効長320 mm) ±0.39 µm (有効長370 mm) ±0.44 µm (有効長420 mm)	Nタイプ、Rタイプ : ±0.06 µm (有効長10 mm) (Nタイプのみ) ±0.08 µm (有効長40 mm) ±0.20 µm (有効長70 / 120 mm) ±0.35 µm (有効長170 / 220 mm) ±0.50 µm (有効長270～370 mm) ±0.65 µm (有効長420 mm)
格子ピッチ	約0.55 µm
信号波長	約0.138 µm (約138 nm)
原点精度	±0.1 µm (R/RSタイプのみ)
原点位置	中央および中央から左右へ各50 mm毎 (320、370、420 mmの有効長のみ50 mm間隔で中央より20 mmオフセット)
原点検出方向	片方向
温度膨張係数	－0.7×10^-6/℃
光源	半導体レーザ波長790 nm　出力6 mW
放射パワー	DHHSクラス1
検出方式	回折格子走査式
使用温度範囲	+10℃～+30℃ (結露不可)
保存温度範囲	－10℃～+50℃ (湿度60％以下)
最大応答速度	400 mm/s (BD700接続時)

外形寸法図

製品名		2D		3D
製品名		日本語	英語	3D
BS78	N	Download	Download	–
BS78	NS	Download	Download	–
BS78	R	Download	Download	–
BS78	RS	Download	Download	–

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取扱説明書

製品名	日本語	英語	ドイツ語
BS78	Download	Download	Download

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カタログ

「レーザスケール総合カタログ」をご確認ください。

https://www.magnescale.com/jp/laserscale/