株式会社マグネスケール

最高分解能 : 6.1 pm

BL50H

BL50Hの特徴

高分解能と高速度を両立させた制御用スケール。
ステージの高速制御やピコメートルレベルの微細制御用スケールとしてだけでなく、チルトテーブルの高分解能傾き制御用センサとしても使用可能。

  • 最高分解能 : 6.1 pm、最高速度 : 3 m/s
  • ±30 minの広い角度許容
  • 長寿命のレーザダイオードを搭載
  • 低ノイズ
  • BD700との組み合わせで優れた内挿精度
  • 1.5D、2Dスケールも対応可能

スペック

1Dスケールユニット

主な仕様

(※) : 570 mmを超える有効長については、お問合せください。

記載内容は予告なしに変更する場合があります。

型名 BL50H-SZ***** BL50H-SA*****
スケール材質 ゼロ膨張ガラス 0.1×10-6/℃ 無アルカリガラス 3.7×10-6/℃
有効長 30~1,070 mm (※)
格子ピッチ 1.6 µm
原点位置 任意の1点 (有効長範囲内) あるいは 原点なし
精度
(20℃にて)
±0.5 µm / 30~120 mm、±1 µm / 170~270 mm、±3 µm / 320~670 mm (特殊仕様で±1.5 µm)、
±5 µm / 770~970 mm (特殊仕様で±3 µm)、±5 µm / 1,070 mm、
±0.2 µm / 1,070 mm以下 (インタポレータBD700補正時) (※)
内挿精度 ±50 pm (インタポレータBD700使用時)

1.5D/2Dスケールユニット

主な仕様

(※1) : 2Dスケール300 mm以上のサイズおよび50 mm刻み以外のサイズについては特殊仕様になります。弊社営業までお問い合わせください。

(※2) : (~2 mm) は特殊仕様になります。弊社営業までお問い合わせください。

記載内容は予告なしに変更する場合があります。

1.5D 2D
ゼロ膨張ガラス X 30~770 mm 500×600 mm (X、Y共に50 mm刻み) (※1)
Y 標準1 mm (~2 mm) (※2)
無アルカリガラス X 30~770 mm 500×600 mm (X、Y共に50 mm刻み) (※1)
Y 標準1 mm (~2 mm) (※2)

ヘッドユニット

主な仕様

(※) : インタポレータBD700にてA/B相、各社シリアルインターフェース、アナログ出力に変換

レーザスケールは半導体レーザを使用しています。レーザ光は人体に有害ですので、検出ヘッド部をのぞき込まないようにしてください。

記載内容は予告なしに変更する場合があります。

型名 BL50H-FSE**D BL50H-FSE**H
出力信号 インタポレータBD700接続 (※) アナログ 1 Vp-p
信号波長 400 nm
最小分解能 6.1 pm
最大応答速度 3 m/s (特殊対応で5m/s)
クリアランス ゼロ膨張ガラス : 3.4±0.2 mm 無アルカリガラス : 3.8±0.2 mm
角度許容値 ヨーイング:±8.7 mrad ピッチング:±8.7 mrad ローリング:±8.7 mrad
ヘッドケーブル長 0.5 m、1 m、3 m、6 m
使用温度範囲 +10℃~+40℃ (結露不可)

外形寸法図

製品名 2D 3D
日本語 英語
BL50H Download

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取扱説明書

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カタログ

「レーザスケール総合カタログ」をご確認ください。

https://www.magnescale.com/jp/laserscale/

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