BH25の特徴
信号波長250 nmの高精度反射型レーザスケール。
薄型ステージ・半導体後工程機器・精密顕微鏡に最適。
- 信号波長 : 250 nm
- 高精度 : ±1 µm / 420 mm (青板ガラス、低膨張ガラス)、±5 µm / 640 mm (ゼロ膨張ガラス、無アルカリガラス)
- 高速応答 : 1,800 mm/s
- 最高分解能 : 3.8 pm
- ラインナップ : 原点付、原点無し
- 完全非接触 : 原理的に戻り誤差がありません。
- スケール部 : 青板ガラス・低膨張ガラス・ゼロ膨張ガラス・無アルカリガラス
- 厚み : 12 mmの薄型ヘッド
- 各種分解能、出力形式に対応 (BD700等、インターポレータによる)
- 真空対応 (特殊仕様品)
スペック
| 主な仕様 | ||
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レーザスケールは半導体レーザを使用しています。レーザ光は人体に有害ですので、検出ヘッド部をのぞき込まないようにしてください。 記載内容は予告なしに変更する場合があります。 |
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| 型名 | BH25-RED | BH25-NED |
| 有効長 (mm) | 30 / 70 / 120 / 170 / 220 / 270 / 320 / 370 / 420 (低膨張ガラス、青板ガラス) 30 / 70 / 120 / 170 / 220 / 270 / 320 / 370 / 420 / 470 / 520 / 570 / 640 (ゼロ膨張ガラス、無アルカリガラス) |
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| スケール全長 | 有効長＋26 mm | |
| 最大可動長 | 有効長＋10 mm | |
| 精度 (20℃にて) | ±0.5 µm (30 mm-170 mm) ±1.0 µm (220 mm-420 mm) ±5.0 µm (470 mm-640 mm) | |
| 格子ピッチ | 1.0 µm | |
| 信号波長 | 0.25 µm (250 nm) | |
| 原点 | 1点 | 無 |
| 原点検出方向 | 片方向 | － |
| 温度膨張係数 | 0.7×10-6/℃ (低膨張ガラス) 8×10-6/℃ (青板ガラス) 0.1×10-6/℃ (ゼロ膨張ガラス) 3.7×10-6/℃ (無アルカリガラス) | |
| 光源 | 半導体レーザ 波長790 nm 出力6 mW | |
| 検出方式 | 回折格子走査式 | |
| 使用温度 | +10℃～+30℃ (結露不可) | |
| 保存温度 | －10℃～+50℃ (湿度は60％以下のこと) | |
| 最大応答速度 | 1,800 mm/s | |
| 出力信号 | インターポレータBD700接続 | |
| 出力分解能 | BD700接続 (分割数に依存) | |
取扱説明書
カタログ
「レーザスケール総合カタログ」をご確認ください。