レーザスケールの分解能は、
ついにPicoの世界へ
レーザスケールの分解能は、ナノ領域どころかピコの世界をも超えようとしています。お客様のご要望を先取りした分解能の開発スピードはまさにムーアの法則※通り。レーザスケールが提供できる高い分解能と安定性が最先端の計測と位置決め制御を支えています。次世代の半導体製造やカメラレンズの金型加工など、高精度・高分解能が必要な分野ではレーザスケールが必要不可欠です。さらに1 次元から2次元へ、そしてZセンサによる3次元にまで計測対象を拡げ、角度も世界最高峰の精度を誇るエンコーダを開発するなど、需要の先取りを続けています。
※ムーアの法則（Moore’s Law）
半導体チップの集積密度に関する法則で、1～2年毎に倍増するというもの。Intelの創設者の一人、ゴードン・ムーアが1965年に発表した経験則です。
レーザスケールの特徴
-
格子干渉方式スケール
検出原理に自ら開発した格子干渉計を使用しているため、温度・気圧・空気の乱れに影響を受けない計測および制御を実現します。
-
ホログラフィックに
作られたスケール描画形式ではなくホログラフィック形式で作られたスケールのため、リニアリティに優れた出力信号を得ることができます。
-
優れた内挿処理技術
独自の内挿回路、補正技術により、優れた内挿精度を得ることができます。
技術トピックス
アプリケーション
-
超精密ステージ（真空対応）
-
表面粗さ輪郭測定器
-
半導体製造検査装置
-
非接触微細形状測定
-
形状研削盤／導光板加工機
-
非球面加工機
ラインナップ
- シリーズ
- 仕様
- 型名、材質
-
BSシリーズ
最高分解能2.1 pm
信号波長138 nm
低ノイズ4 pm
最大有効長
低膨張ガラス420 mm
熱膨張係数
低膨張ガラス-0.7×10-6/℃
最大応答速度400 mm/s透過型超高分解能
レーザスケールBS78
スケール材質:低膨張ガラス -
BHシリーズ
最高分解能3.8 pm
信号波長250 nm
最大有効長
低膨張ガラス420 mm
青板ガラス420 mm
ゼロ膨張ガラス640 mm
無アルカリガラス640 mm
熱膨張係数
低膨張ガラス-0.7×10-6/℃
青板ガラス8×10-6/℃
ゼロ膨張ガラス0.1×10-6/℃
無アルカリガラス3.7×10-6/℃
最大応答速度1,800 mm/s反射型超高分解能
レーザスケールBH25
スケール材質:低膨張ガラス
青板ガラス
ゼロ膨張ガラス
無アルカリガラス -
BL50Hシリーズ
最高分解能6.1 pm
信号波長400 nm
最大有効長
1D1,070 mm
1.5DX: 770 mm
Y: 1 mm
2D500 x 600 mm
最大応答速度3 m/s
(特殊対応で5m/s)
熱膨張係数
ゼロ膨張ガラス0.1×10-6/℃
無アルカリガラス3.7×10-6/℃反射型高速
レーザスケールBL50H
スケール材質:ゼロ膨張ガラス
無アルカリガラス -
BLシリーズ
最高分解能10 nm
信号波長400 nm
最大有効長
低膨張ガラス420 mm
青板ガラス1,060 mm
熱膨張係数
低膨張ガラス-0.7×10-6/℃
青板ガラス8×10-6/℃
最大応答速度3,000 mm/s透過型高速
レーザスケールBL57
スケール材質:低膨張ガラス
青板ガラス -
BHシリーズ
最高分解能0.09 nrad
信号波長250 nm反射型超高分解能
レーザスケールBH20
スケール材質:白板ガラス
