Produktübersicht
Berührungsloses offenes Laserscale Längenmesssystem mit 400 nm Signalperiode. Ideal geeignet für X/Y Verfahreinheiten in Halbleiter-, Messanwendungen und Ultrapäzisionsbearbeitung.
- BL57-RE
- Verfügbar in Messlängen von bis zu 1360 mm und Ansprechgeschwindigkeiten von bis zu 3 m/s
- Aufgrund der Signalperiode von 400 nm beträgt der Interpolationsfehler weniger als +/-4 nm
- Eingebauter Referenzpunkt / Bezugspunkt
- Anwendungen : X/Y Verfahreinheiten und Messanwendungen
- BL57-NE
- Die kompakte Bauform ohne Referenzmarke zur einfachen Integration.
- Unempfindlich gegenüber Temperaturänderungen, Luftfeuchtigkeit, Luftdruck und Luftzirkulationen.
- Aufgrund der Signalperiode von 400 nm beträgt der Interpolationsfehler weniger als +/-4nm
- Anwendungen : X/Y Verfahreinheiten und Messanwendungen
Spezifikationen
| Spezifikationen des BL57-RE | ||||
|---|---|---|---|---|
| Modell | BL57-RE | |||
| Ausführung | F | G | H | |
| Ausgabesignalform | A/B-Quadratur-Ausgang | Analoger Ausgang | ||
| Erkennungsmethode | Beugungsgitterabtastung | |||
| Maßstabslänge (Glas mit geringer Ausdehnung) |
Messlänge (mm) | 30, 60, 110, 160, 210, 260, 310, 360, 410 | ||
| Gesamtlänge | Messlänge +36 mm | |||
| Maximale Verfahrlänge |
Messlänge +10 mm (auf jeder Seite 5 mm) | |||
| Maßstabslänge (Natronkalkglas) |
Messlänge (mm) | 60, 160, 260, 360, 460, 560, 660, 760, 860, 960, 1.060 | ||
| Gesamtlänge | Messlänge +36 mm | |||
| Maximale Verfahrlänge |
Messlänge +10 mm (auf jeder Seite 5 mm) | |||
| Genauigkeit (bei 20 °C) | ±0,5 µm (30 bis 160 mm)/±1,0 µm (210 bis 360 mm)/±1,5 µm (410 mm oder mehr) | |||
| Gitterteilung | 1,6 µm | |||
| Signalperiode | 0,4 µm (400 nm) | |||
| Ausgangssignal | Differenzial (konform mit EIA-422) | Differenzial (nur Modelle mit Nullpunkt-Ausgabe sind konform mit EIA-422) | ||
| Maximale Auflösung | 0,1/0,05 µm (wählbar) |
0,02/0,01 µm (wählbar) |
0,4 µm (1 V p-p) |
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| Referenzpunkt- / Bezugspunkt Genauigkeit (bei 20°C) |
±0,4 µm (Abhängig von der Genauigkeit der Maschinenbewegung) | |||
| Referenzpunkt / Bezugspunkt | Benutzerdefinierbar (innerhalb der Reichweite der effektiven Länge) | |||
| Richtung der Referenzpunkt- / Bezugspunkterkennung |
Unidirektional | |||
| Wärmeausdehnungskoeffizient | Glas mit geringer Ausdehnung : -0,7 ×10-6/°C/ Natronkalkglas : 8 ×10-6/°C | |||
| Lichtquelle | Halbleiterlaser Wellenlänge 790 nm, Max. Ausgabe 6 mW | |||
| Laserklasse | JIS Klasse 1, DHHS Klasse 1 | |||
| Betriebstemperatur | 0 bis +40 °C (keine Kondensation) | |||
| Lagertemperatur | －10 bis +50 °C | |||
| Maximale Ansprechgeschwindigkeit | 1.500 mm/s (0,1 µm), 650 mm/s (0,05 µm) |
300 mm/s (0,02 µm), 120 mm/s (0,01 µm) |
3.000 mm/s (*1) | |
| Phasendifferenz: 38 ns | Phasendifferenz: 38 ns | Max. 7,5 MHz | ||
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| Alarm | Hohe Impedanz, Alarm Ausgangssignal bei Überschreiten der maximalen Ansprechgeschwindigkeit oder wenn ein Fehler im Signallevel entdeckt wird | Keinen | ||
| Lesekopfkabel | Kabellänge | 1 m (*4) | ||
| Biegeradius | Wenn unbeweglich: 10 mm | |||
| Ausgangskabellänge | Maximal 15 m (*2) (bis zur elektronischen Bedienstelle) | Maximal 15 m (*1) (*2) | ||
| Spannungsversorgung (*3) | +5 V (±5%) | |||
| Leistungsaufnahme | 450 mA (keine Belastung) 600 mA (bei 120 Ω Abschluss) | |||
| Vibrationsfestigkeit | 100 m/s2 (50 bis 2.000 Hz) | |||
| Schockfestigkeit | 200 m/s2 | |||
| (*1) Es existiert eine Korrelation zwischen der maximalen Ansprechgeschwindigkeit und der Ausgangskabellänge | ||||
| Kabellänge (m) | Maximale Ansprechgeschwindigkeit (mm/s) | |||
| 3 | 3.000 | |||
| 9 | 2.330 | |||
| 15 | 1.660 | |||
|
(*2) Bei einer Stromversorgungsleitung länger als 10 m, efüllt das System die Vorschrift EN61000-6-2 nicht. Treffen Sie Maßnahmen zur Verhütung von Spannungsstößen. |
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Die Laserscale nutzen einen Halbleiterlaser. Der Laserstrahl ist schädlich und kann zu Verletzungen speziell im Auge führen. Schauen sie deshalb nicht direkt in das Austrittfenster des Laserstrahls. Magnescale behält es sich vor, Produktspezifikationen ohne vorherige Ankündigung zu ändern. |
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| Spezifikationen des BL57-NE | |||||
|---|---|---|---|---|---|
| Modell | BL57-NE | ||||
| Ausführung | A | F | G | H | |
| Ausgabesignalform | A/B-Quadratur-Ausgabe | Analoge Ausgabe |
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| Erkennungsmethode | Beugungsgitter Scan-System | ||||
| Maßstabslänge (Glas mit geringer Ausdehnung) |
Messlänge (mm) | 30, 70, 120, 170, 220, 270, 320, 370, 420 | |||
| Gesamtlänge | Messlänge +26 mm | ||||
| Maximale Verfahrlänge |
Messlänge +10 mm (auf jeder Seite 5 mm) | ||||
| Maßstabslänge (Natronkalkglas) |
Messlänge (mm) | 60, 160, 260, 360, 460, 560, 660, 760, 860, 960, 1.060 | |||
| Gesamtlänge | Messlänge +36 mm | ||||
| Maximale Verfahrlänge |
Messlänge +10 mm (auf jeder Seite 5 mm) | ||||
| Genauigkeit (bei 20 °C) | ±0,5 µm (30 bis 170 mm)/±1,0 µm (220 bis 370 mm)/±1,5 µm (420 mm oder mehr) | ||||
| Gitterteilung | 1,6 µm | ||||
| Signalperiode | 0,4 µm (400 nm) | ||||
| Ausgangssignal | Differenzial (konform mit EIA-422) | Differenzial | |||
| Maximale Auflösung | 0,1 µm | 0,1/0,05 µm (wählbar) |
0,02/0,01 µm (wählbar) |
0,4 µm (1 V p-p) |
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| Wärmeausdehnungskoeffizient | Glas mit geringer Ausdehnung : -0,7 ×10-6/°C/ Natronkalkglas : 8 ×10-6/°C | ||||
| Lichtquelle | Halbleiterlaser Wellenlänge 790 nm, Max. Ausgabe 6 mW | ||||
| Laserklasse | JIS Klasse 1, DHHS Klasse 1 | ||||
| Betriebstemperatur | 0 bis +40°C (keine Kondensation) | ||||
| Lagertemperatur | -10 bis +50°C | ||||
| Maximale Ansprechgeschwindigkeit |
1.000 mm/s | 1.500 mm/s (0,1 µm), 650 mm/s (0,05 µm) |
300 mm/s (0,02 µm), 120 mm/s (0,01 µm) |
3.000 mm/s (*1) | |
| Phasendifferenz : 80 ns | Phasendifferenz : 38 ns | Phasendifferenz : 38 ns | Max 7,5 MHz | ||
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| Alarm | Hohe Impedanz, A/B-Quadratur-Ausgangssignal wenn ein Fehler im Signallevel entdeckt wird | Hohe Impedanz, Alarm Ausgangssignal bei Überschreiten der maximalen Ansprechgeschwindigkeit oder wenn ein Fehler im Signallevel entdeckt wird | Keinen | ||
| Lesekopfkabel | Kabellänge | 300 mm | |||
| Biegeradius | Wenn unbeweglich : 10 mm | ||||
| Ausgangskabellänge | Maximal 15 m (*2) (bis zur elektronischen Bedienstelle) | Maximal 15 m (*1) (*2) | |||
| Spannungsversorgung *3 | +5 V (+10%/-5%) | +5 V (±5 %) | |||
| Leistungsaufnahme | 200 mA (keine Belastung) 250 mA (bei 120 Ω Abschluss) | 290 mA (keine Belastung) 350 mA (bei 120 Ω Abschluss) |
250 mA (keine Belastung, bei 120 Ω Abschluss) |
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| Vibrationsfestigkeit | 100 m/s2 (50 bis 2.000 Hz) | ||||
| Schockfestigkeit | 200 m/s2 | ||||
| (*1) Es existiert eine Korrelation zwischen der maximalen Ansprechgeschwindigkeit und der Ausgangskabellänge | |||||
| Kabellänge (m) | Maximale Ansprechgeschwindigkeit (mm/s) | ||||
| 3 | 3.000 | ||||
| 9 | 2.330 | ||||
| 15 | 1.660 | ||||
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(*2) Bei einer Stromversorgungsleitung länger als 10 m, efüllt das System die Vorschrift EN61000-6-2 nicht. Treffen Sie Maßnahmen zur Verhütung von Spannungsstößen. |
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Die Laserscale nutzen einen Halbleiterlaser. Der Laserstrahl ist schädlich und kann zu Verletzungen speziell im Auge führen. Schauen sie deshalb nicht direkt in das Austrittfenster des Laserstrahls. Magnescale behält es sich vor, Produktspezifikationen ohne vorherige Ankündigung zu ändern. |
Abmessungen
Katalog
| BL57 Serie | Englisch |  |
|---|---|---|
| BL57 Serie | Japanisch | |