Die Laserscale-Auflösung erreicht die Pikometer-Welt
Die Auflösungen die wir momentan für unseren Laserscales anbieten befinden sich im Nanometer bzw. im Picometerbereich. Wir gehen aber davon aus, dass die Entwicklung im Picometer bereich nicht stoppt und noch höhere Auflösung in Zukunft benötigt werden. Die Entwicklung der Auflösungen von Messsystemen, entwickelt sich parallel zum Mooreschen Gesetzes* für Halbleiter. Die hohe Auflösung, Genauigkeit und Stabilität von Laserscales unterstützt fortschrittliche Mess- und Positionssteuerung. Laserscales sind unverzichtbar in Bereichen, die eine überlegene Präzision und Auflösung erfordern, wie die Halbleiterfertigung der nächsten Generation und Herstellung von Formen für optische Bauelemente. Zusätzlich entwicklet sich die Anforderungen unserer Kunden weiter von 1D zu 2D und mit Z-Sensoren auch zu 3D Messanwendungen. Bei rotatorischen Messsystemen bieten wir das genaueste Laserscale Winkelmesssystem weltweit an.
*Mooresches Gesetz
: Postuliert, dass sich die Halbleiterintegration etwa alle zwei Jahre verdoppelt. Gestützt auf die Erfahrung des Intel-Mitbegründers Gordon Moore im Jahr 1965.。
Eigenschaften des Laserscales
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Beugungsgitterlaserinterferometer
Es verwendet ein von uns entwickeltes Beugungsgitterlaserinterferometer als Funktionsprinzip, das eine von Temperatur, Luftdruck und Luftturbulenzen unabhängige hochgenaue Längenmessung ermöglicht.
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Maßstab mit holografischem Gitter
Da der Maßstab holografisch hergestellt ist, verfügt er über ein Ausgangssignal mit exzellenter Signalqualität und Linearität
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Exzellente Interpolationstechnologie
Unsere selbst entwicklete Interpolationstechnologie und Korrekturtechnologie ermöglichen eine hervorragende Interpolationsgenauigkeit.
Technologische Thematik
Anwendungen
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Ultrahochpräzise luftgelagerte X/Y-Tische (vakuumbeständig)
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Oberflächenrauheit / Konturmessgeräte
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DUV-basierter automatischer Wafer Fehlerklassifizierungssysteme
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Kontaktlose Messmaschinen
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Mikro-Schleifmaschinen
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Asphärische Oberflächenbearbeitung
Line-up
- Serie
- Spezifikationen
- Modell / Material
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BS Serie
Maximale Auflösung2,1 pm
Signalhöhe138 nm
Geringe Störung4 pm
Maximale Messlänge
Glas mit geringer Ausdehnung420 mm
Wärmeausdehnungskoeffizient
Glas mit geringer Ausdehnung-0,7×10-6/℃
Maximale Ansprechgeschwindigkeit400 mm/sLaserscale mit Durchlichtprinzip mit ultrahoher
AuflösungBS78
Maßstabsmaterial:
Glas mit geringer Ausdehnung -
BH Serie
Maximale Auflösung3,8 pm
Signalhöhe250 nm
Maximale Messlänge640 mm
Wärmeausdehnungskoeffizient
ZERO-Glas0,1×10-6/℃
Alkalifreies Glas3,7×10-6/℃
Maximale Ansprechgeschwindigkeit1.800 mm/sReflektierender Laserscale-Typ mit ultrahoher Auflösung
BH25
Maßstabsmaterial:
ZERO-Glas
Alkalifreies Glas -
BL50H Serie
Maximale Auflösung6,1 pm
Signalhöhe400 nm
Maximale Messlänge1D1.070 mm
1.5DX: 770 mm
Y: 1 mm
2D300 x 300 mm
Ansprechgeschwindigkeit
Wenn BD700 angeschlossen ist3.000 mm/s
Analoge Ausgabe5.000 mm/s
Wärmeausdehnungskoeffizient
ZERO-Glas0,1×10-6/℃
Alkalifreies Glas3,7×10-6/℃Reflektierender Laserscale mit hoher
AnsprechgeschwindigkeitBL50H
Maßstabsmaterial:
ZERO-Glas
Alkalifreies Glas -
BL Serie
Maximale Auflösung10 nm
Signalhöhe400 nm
Maximale Messlänge
Glas mit geringer Ausdehnung420 mm
Natronkalkglas1.060 mm
Wärmeausdehnungskoeffizient
Glas mit geringer Ausdehnung-0,7×10-6/℃
Natronkalkglas8×10-6/℃
Maximale Ansprechgeschwindigkeit3.000 mm/sLaserscale mit Durchlichtprinzip mit hoher
AnsprechgeschwindigkeitBL57
Maßstabsmaterial:
Glas mit geringer Ausdehnung
Natronkalkglas -
BH Serie
Maximale Auflösung1,5 nrad
Signalhöhe250 nmReflektierender Laserscale mit ultrahoher Auflösung
BH20
Maßstabsmaterial:
Kronglas
