株式会社マグネスケール

Laserscale Produkte

Die Laserscale-Auflösung erreicht die Pikometer-Welt

Die Auflösungen die wir momentan für unseren Laserscales anbieten befinden sich im Nanometer bzw. im Picometerbereich. Wir gehen aber davon aus, dass die Entwicklung im Picometer bereich nicht stoppt und noch höhere Auflösung in Zukunft benötigt werden. Die Entwicklung der Auflösungen von Messsystemen, entwickelt sich parallel zum Mooreschen Gesetzes* für Halbleiter. Die hohe Auflösung, Genauigkeit und Stabilität von Laserscales unterstützt fortschrittliche Mess- und Positionssteuerung. Laserscales sind unverzichtbar in Bereichen, die eine überlegene Präzision und Auflösung erfordern, wie die Halbleiterfertigung der nächsten Generation und Herstellung von Formen für optische Bauelemente. Zusätzlich entwicklet sich die Anforderungen unserer Kunden weiter von 1D zu 2D und mit Z-Sensoren auch zu 3D Messanwendungen. Bei rotatorischen Messsystemen bieten wir das genaueste Laserscale Winkelmesssystem weltweit an.

*Mooresches Gesetz
: Postuliert, dass sich die Halbleiterintegration etwa alle zwei Jahre verdoppelt. Gestützt auf die Erfahrung des Intel-Mitbegründers Gordon Moore im Jahr 1965.。

Eigenschaften des Laserscales

  • Beugungsgitterlaserinterferometer

    Es verwendet ein von uns entwickeltes Beugungsgitterlaserinterferometer als Funktionsprinzip, das eine von Temperatur, Luftdruck und Luftturbulenzen unabhängige hochgenaue Längenmessung ermöglicht.

  • Maßstab mit holografischem Gitter

    Da der Maßstab holografisch hergestellt ist, verfügt er über ein Ausgangssignal mit exzellenter Signalqualität und Linearität

  • Exzellente Interpolationstechnologie

    Unsere selbst entwicklete Interpolationstechnologie und Korrekturtechnologie ermöglichen eine hervorragende Interpolationsgenauigkeit.

Technologische Thematik

Geschütztes holographisches Gitter
Ultrahohe Auflösung Großes S/N-Verhältnis

Anwendungen

  • Ultrahochpräzise luftgelagerte X/Y-Tische (vakuumbeständig)

  • Oberflächenrauheit / Konturmessgeräte

  • DUV-basierter automatischer Wafer Fehlerklassifizierungssysteme

  • Kontaktlose Messmaschinen

  • Mikro-Schleifmaschinen

  • Asphärische Oberflächenbearbeitung

Line-up

  • Serie
  • Spezifikationen
  • Modell / Material
  • BS Serie

    Maximale Auflösung2.1 pm
    Signalhöhe138 nm
    Geringe Störung4 pm
    Maximale Messlänge
    Glas mit geringer Ausdehnung420 mm
    Natronkalkglas960 mm
    Wärmeausdehnungskoeffizient
    Glas mit geringer Ausdehnung-0.7×10-6/℃
    Natronkalkglas8×10-6/℃
    Maximale Ansprechgeschwindigkeit400 mm/s

    Laserscale mit Durchlichtprinzip mit ultrahoher
    Auflösung

    BS78、BS65
    Maßstabsmaterial:
    Glas mit geringer Ausdehnung(BS78)
    Natronkalkglas(BS65)

  • BH Serie

    Maximale Auflösung3.8 pm
    Signalhöhe250 nm
    Maximale Messlänge640 mm
    Wärmeausdehnungskoeffizient
    ZERO-Glas0.1×10-6/℃
    Alkalifreies Glas3.7×10-6/℃
    Maximale Ansprechgeschwindigkeit1,800 mm/s

    Reflektierender Laserscale-Typ mit ultrahoher Auflösung

    BH25
    Maßstabsmaterial:
    ZERO-Glas
    Alkalifreies Glas

  • BL Serie

    Maximale Auflösung6.1 pm
    Signalhöhe400 nm
    Maximale Messlänge570 mm
    Ansprechgeschwindigkeit
    Wenn BD700 angeschlossen ist3,000 mm/s
    Analoge Ausgabe5,000 mm/s
    Wärmeausdehnungskoeffizient
    ZERO-Glas0.1×10-6/℃
    Alkalifreies Glas3.7×10-6/℃

    Reflektierender Laserscale mit hoher
    Ansprechgeschwindigkeit

    BL50H
    Maßstabsmaterial:
    ZERO-Glas
    Alkalifreies Glas

  • BL Serie

    Maximale Auflösung10 nm
    Signalhöhe400 nm
    Maximale Messlänge
    Glas mit geringer Ausdehnung420 mm
    Natronkalkglas1060 mm
    Wärmeausdehnungskoeffizient
    Glas mit geringer Ausdehnung-0.7×10-6/℃
    Natronkalkglas8×10-6/℃
    Maximale Ansprechgeschwindigkeit3,000 mm/s

    Laserscale mit Durchlichtprinzip mit hoher
    Ansprechgeschwindigkeit

    BL57
    Maßstabsmaterial:
    Glas mit geringer Ausdehnung
    Natronkalkglas

  • BH Serie

    Maximale Auflösung1.5 nrad
    Signalhöhe250 nm

    Reflektierender Laserscale mit ultrahoher Auflösung

    BH20
    Maßstabsmaterial:
    Kronglas

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