株式会社マグネスケール

Laserscale

BS78

BS78的特点

在保持高速响应和高分辨率的同时,实现稳定的超精密测量。适用于精密工作台,半导体测试/制造设备及超精密加工机等

  • 信号波长为138nm的高分辨率栅尺,超过了光波干涉仪
  • 不受湿度,气压或乱气流影响的高稳定性
  • 原点精度:±0.1µm
  • 精度:±0.04µm 或更小 (测量范围为40mm)
  • 完全非接触式,原理上不会产生返回误差
  • 测量范围:40 ~ 420mm,9种(-R/-RS)
  • 测量范围:10 ~ 420mm,10种(-N/-NS)
  • 支持真空和非磁性 (特殊规格)
  • 使用低膨胀玻璃:-0.7×10-6/℃ (测量范围:10 ~ 420 mm)
  • 分辨率:2.1pm

规格

主要规格

激光尺使用半导体激光。激光对人体有害,所以请勿直视检测读头

记载内容如有变更,恕不另行通知

型号 BS78
测量范围:L(mm) 10 / 40 / 70 / 120 / 170 / 220 / 270 / 320 / 370 / 420 (10仅限N/NS)
栅尺全长 58mm (测量范围 10mm:悬臂式) 测量范围 +26mm (测量范围 40 ~ 420 mm)
最大可动长度 测量范围 +2mm (测量范围 10mm:悬臂式) 测量范围 +10mm (测量范围 40 ~ 420 mm)
精度 (20℃时)
  • NS型/RS型:
  • ±0.03μm (测量范围 10mm) (仅限NS型)
  • ±0.04μm (测量范围 40mm)
  • ±0.10μm (测量范围 70 / 120mm)
  • ±0.18μm (测量范围 170 / 220mm)
  • ±0.25μm (测量范围 270mm)
  • ±0.34μm (测量范围 320mm)
  • ±0.39μm (测量范围 370mm)
  • ±0.44μm (测量范围 420mm)
  • N型,R型:
  • ±0.06μm (测量范围 10mm) (仅限N型)
  • ±0.08μm (测量范围 40mm)
  • ±0.20μm (测量范围 70 / 120mm)
  • ±0.35μm (测量范围 170 / 220mm)
  • ±0.50μm (测量范围 270 ~ 370 mm)
  • ±0.65μm (测量范围 420mm)
光栅间距 约0.55μm
信号波长 约0.138μm (约138nm)
原点精度 ±0.1μm (仅限R/RS型)
原点位置 中央及从中央向左右分别每次前进50mm处
(在测量范围为320,370,420mm时,原点位置为以50mm为间隔从中央20mm处置位)
原点检测方向 单方向
温度膨胀系数 -0.7×10-6/℃
光源 半导体激光 波长 790nm 输出 6mW
辐射功率 DHHS级1
检测方式 衍射光栅扫描
工作温度范围 10 ~ 30℃ (不得有结露)
保存温度范围 -10 ~ 50℃ (湿度为60% 或更低)
最大响应速度 400mm/s

外径尺寸图

产品名称 2D 3D
日语 英语
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使用说明书

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