激光尺的分辨率、
终于进入了皮米(pm)的世界
激光尺的分辨率不仅要超越纳米(nm)领域，还要超越皮米的世界。预测客户要求的分辨率开发速度就跟摩尔定律※说的一模一样。激光尺可以提供的高分辨率和稳定性，支撑着最尖端的测量和定位控制。在下一代半导体制造、相机镜头模具加工等，要求高精度、高分辨率的领域，激光尺是必不可少的。而且，我们将测量对象从1维扩展到2维，然后又通过使用Z传感器将测量对象扩展到3维，并且在角度方面也开发了具有世界最高精度的编码器等，不断预测客户的需求。
※摩尔定律（Moore’s Law）
与半导体芯片的集成密度有关的规律，说的是性能每隔1～2年就会翻一倍。1965年，英特尔的创始人之一戈登·摩尔宣布了这一经验法则。
激光尺的特点
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光栅干涉式栅尺
由于在检测原理中采用了自主研发的光栅干涉仪，所以实现了不受温度、气压和乱气流影响的测量及控制。
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按全息格式
制作的栅尺由于栅尺以全息格式而不是绘图格式制作而成，因此可以获得具有良好线性的输出信号。
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出色的内插处理技术
通过独有的内插电路和补偿技术，可以获得出色的内插精度。
技术主题
应用程序
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超精密工作台（支持真空）
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表面粗糙度轮廓测量仪
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半导体制造测试设备
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非接触式微细形状测量
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形状磨床/导光板加工机
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非球面加工机
产品阵容
- 系列
- 规格
- 型号、材质
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BS系列
最大分辨率2.1 pm
信号波长138 nm
低噪声4 pm
最大测量范围
低膨胀玻璃420 mm
热膨胀系数
低膨胀玻璃-0.7×10-6/℃
最大响应速度400 mm/s透射式超高分辨率
激光尺BS78
栅尺材质:低膨胀玻璃 (BS78) -
BH系列
最大分辨率3.8 pm
信号波长250 nm
最大测量范围640 mm
热膨胀系数
ZERO玻璃0.1×10-6/℃
无碱玻璃3.7×10-6/℃
最大响应速度1,800 mm/s反射式超高分辨率
激光尺BH25
栅尺材质：ZERO玻璃
无碱玻璃 -
BL50H系列
最大分辨率6.1 pm
信号波长400 nm
最大测量范围1D1,070 mm
1.5DX: 770 mm
Y: 1 mm
2D300 x 300 mm
速度
BD700连接时3,000 mm/s
模拟输出5,000 mm/s
热膨胀系数
ZERO玻璃0.1×10-6/℃
无碱玻璃3.7×10-6/℃反射式超高分辨率
激光尺BL50H
栅尺材质:ZERO玻璃
无碱玻璃 -
BL系列
最大分辨率10 nm
信号波长400 nm
最大测量范围
低膨胀玻璃 420 mm
苏打玻璃1060 mm
热膨胀系数
苏打玻璃-0.7×10-6/℃
苏打玻璃8×10-6/℃
最大响应速度3,000 mm/s透射式高速
激光尺BL57
栅尺材质:低膨胀玻璃
苏打玻璃 -
BH系列
最大分辨率1.5 nrad
信号波长250 nm反射式超高分辨率
激光尺BH20
栅尺材质：白板玻璃
