株式会社マグネスケール

Laserscale

BL50H

BL50H的特点

同时实现高分辨率和高速度的控制栅尺。不仅可以作为用于工作台的高速控制和皮米(pm)级精细控制的栅尺,
还可以作为用于倾斜工作台的高分辨率倾斜控制的传感器使用

  • 最大分辨率:6.1pm,最大响应速度:5m/s
  • ±30min的大角度允许值
  • 配备长寿命激光二极管
  • 低噪声
  • 与BD700组合可以获得出色的内插精度

规格

栅尺

主要规格

记载内容如有更改,恕不另行通知

型号 BL50H-SZ***** BL50H-SA*****
栅尺材质 ZERO玻璃 0.1×10-6/℃ 无碱玻璃 3.7×10-6/℃
测量范围 30 ~ 1,070 mm
光栅间距 1.6µm
原点位置 任意1点 (测量范围的范围内) 或 无
精度
(20℃时)
±0.5µm/30~120mm, ±1µm/170~270mm, ±3µm/320~670mm (特殊规格时为±1.5µm)
±5µm/770~970mm (特殊规格时为±3µm), ±5µm/1,070mm
±0.2µm/1,070mm 或更低 (内插盒BD700补偿时)
内插精度 ±50pm (使用内插盒BD700时)

读头组件

主要规格

(※):通过内插盒BD700转换为A/B相(脉冲),各公司串口接口及模拟输出

激光尺使用半导体激光。激光对人体有害,所以请勿直视检测头

记载内容如有更改,恕不另行通知

型号 BL50H-FS***D BL50H-FS***H
输出信号 连接内插盒BD700(※) 模拟 1Vp-p
信号波长 400nm
最小分辨率 6.1pm
最大响应速度 3m/s (特殊对应时为5m/s) 5m/s
间隔 ZERO玻璃:3.4±0.2mm 无碱玻璃:3.8±0.2mm
角度允许值 Yawing:±8.7mrad Pitching:±8.7mrad Rolling:±8.7mrad
读头电缆长度 1m,3m,6m 0.5m,1m,3m
工作温度范围 +10 ~ +40℃ (不得有结露)

外径尺寸图

产品名称 2D 3D
日语 英语
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使用说明书

产品目录

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