株式会社マグネスケール

Laserscale

BL50H

BL50H的特点

同时实现高分辨率和高速度的控制栅尺。不仅可以作为用于工作台的高速控制和皮米(pm)级精细控制的栅尺,
还可以作为用于倾斜工作台的高分辨率倾斜控制的传感器使用

  • 最大分辨率:6.1pm,最大响应速度:5m/s
  • ±30min的大角度允许值
  • 配备长寿命激光二极管
  • 低噪声
  • 与BD700组合可以获得出色的内插精度

规格

栅尺

主要规格

记载内容如有更改,恕不另行通知

型号 BL50H-SZ***** BL50H-SA*****
栅尺材质 ZERO玻璃 0.1×10-6/℃ 无碱玻璃 3.7×10-6/℃
测量范围 30 ~ 1,070 mm
光栅间距 1.6µm
原点位置 任意1点 (测量范围的范围内) 或 无
精度
(20℃时)
±0.5µm/30~120mm, ±1µm/170~270mm, ±3µm/320~670mm (特殊规格时为±1.5µm)
±5µm/770~970mm (特殊规格时为±3µm), ±5µm/1,070mm
±0.2µm/1,070mm 或更低 (内插盒BD700补偿时)
内插精度 ±50pm (使用内插盒BD700时)

读头组件

主要规格

(※):通过内插盒BD700转换为A/B相(脉冲),各公司串口接口及模拟输出

激光尺使用半导体激光。激光对人体有害,所以请勿直视检测头

记载内容如有更改,恕不另行通知

型号 BL50H-FS***D BL50H-FS***H
输出信号 连接内插盒BD700(※) 模拟 1Vp-p
信号波长 400nm
最小分辨率 6.1pm
最大响应速度 3m/s (特殊对应时为5m/s) 5m/s
间隔 ZERO玻璃:3.4±0.2mm 无碱玻璃:3.8±0.2mm
角度允许值 Yawing:±8.7mrad Pitching:±8.7mrad Rolling:±8.7mrad
读头电缆长度 1m,3m,6m 0.5m,1m,3m
工作温度范围 +10 ~ +40℃ (不得有结露)

外径尺寸图

产品名称 2D 3D
日语 英语
BL50H 下载

使用说明书

产品目录

BL50H 系列 日语 BL50H カタログ 日本語 PDF
BL50H 系列 英语 BL50H カタログ 英語 PDF
BL50H 系列 德语 BL50H カタログ 英語 PDF

※找不到文件时请咨询。