株式会社マグネスケール

Laserscale

BH25

BH25的特点

信号波长为250nm的高精度反射式激光尺。非常适合薄工作台,半导体后处理设备和精密显微镜

  • 信号波长:250nm
  • 高精度:±1μm/420mm
  • 高速响应:1,800mm/s
  • 最大分辨率:3.8pm
  • 产品阵容:带原点,无原点
  • 完全非接触:原理上不存在返回误差
  • 栅尺部分:ZERO玻璃,无碱玻璃
  • 厚度:12mm的薄型读头
  • 支持各种分辨率和输出格式 (BD96,BD700等,取决于内插盒)
  • 可支持真空 (特殊规格产品)

规格

主要规格

激光尺使用半导体激光。激光对人体有害,所以请勿直视检测头

记载内容如有更改,恕不另行通知

型号 BH25-RED BH25-NED
测量范围 (mm) 30 / 70 / 120 / 170 / 220 / 270 / 320 / 370 / 420 / 470 / 520 / 570 / 640 (ZERO玻璃,无碱玻璃)
栅尺全长 测量范围+26mm
最大可动长度 测量范围+10mm
精度 (20℃时) ±0.5μm (30 ~ 170 mm) ±1.0μm (220 ~ 420 mm)
光栅间距 1.0μm
信号波长 0.25μm (250nm)
原点位置 1个
原点检测方向 单方向
温度膨胀系数 0.1×10-6/℃ (ZERO玻璃) 3.7×10-6/℃ (无碱玻璃)
光源 半导体激光 波长 790nm 输出 6mW
检测方式 衍射光栅扫描
工作温度范围 10 ~ 30℃ (不得有结露)
保存温度范围 -10 ~ 50℃ (湿度必须为60% 或更低)
最大响应速度 1,800mm/s
输出信号 连接内插盒等
输出分辨率 取决于内插盒分割数

使用说明书

产品目录

BH25 系列 日语 BH25 カタログ 日本語 PDF
BH25 系列 英语 BH25 カタログ 英語 PDF

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