株式会社マグネスケール

Laserscale

BH20

BH20的特点

具有高精度,高分辨率和高速响应的紧凑型反射式旋转激光尺。适用于HDD制造装置,精密测量仪,非球面加工机等的高分辨率角度测量

  • 信号波长:250nm
  • 高速响应:1,800mm/s
     160min-1 r = 41mm 栅尺时
     555min-1 r = 12mm 栅尺时
  • 高分辨率:236/转 (r = 41mm 栅尺,216分割)
     = 0.09nrad
  • 产品阵容:带原点,无原点
  • 厚度为12mm的薄型读头
  • 备有各种分辨率,输出格式的内插盒
  • 支持真空 (特殊规格产品)

规格

检测读头 主要规格
型号 BH20-RED BH20-NED
栅尺全长 (直线/旋转)
精度 (20℃时)
信号波长 250nm
原点位置 1个
原点检测方向 单方向
光源 半导体激光 790nm 输出5mW
检测方式 衍射光栅扫描
工作温度范围 10 ~ 30℃ (不得有结露)
保存温度范围 0 ~ 50℃ (不得有结露)
最大响应速度 (注1) 1,800mm/s
信号栅尺(BE10) 主要规格

激光尺使用半导体激光。激光对人体有害,所以请勿直视检测头

记载内容如有变更,恕不另行通知

检测半径 12.032mm 27.073mm 36.097mm 41.723mm
栅尺内径 (直径) 8.5mm 37mm 57mm 68mm
栅尺外径 (直径) 27mm 60mm 78mm 89mm
光栅间距 1.0μm
每转输出脉冲数 302,400 脉冲/转 680,400 脉冲/转 907,200 脉冲/转 1,048,576 脉冲/转
最大响应速度 (注1) 1,428min-1 634min-1 476min-1 411min-1
  • 注1) 模拟输出,读头电缆长度为1m时。如果电缆长度达到最大长度3m,则速度将变为电缆长度为1m时的2/3
  • ※如果栅尺和读头为另售,则需要调整信号

使用说明书

产品目录

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