Produktübersicht
Hochgenaues Längenmesssystem mit reflektierendem Laserscalefunktionsprinzip mit einer Signalperiode von 250 nm. Ideal für Low-Profile-Tische, Halbleiter-Back-End-Bearbeitungsgeräte und Präzisionsmikroskope
- Signalperiode: 250 nm
- Hohe Genauigkeit : ±1 µm/420 nm
- Hohe Ansprechgeschwindigkeit: 1.800 mm/s
- Maximale Auflösung : 3,8 pm
- Mit oder ohne Referenzpunkt / Bezugspunkt erhältlich
- Kontaktloses Messsystem ohne Hysterese
- Maßstab: ZERO-Glas, Alkalifreies Glas
- Dünner Lesekopf mit einer Dicke von 12 mm
- Unterstützt verschiedene Auflösungen und Ausgabemodi (Abhängig von einem Interpolator wie z.B. BD96 oder BD700)
- Nicht-magnetische und Vakuum-kompatible SonderModellle erhältlich
Spezifikationen
| Spezifikationen | ||
|---|---|---|
|
Die Laserscale nutzen einen Halbleiterlaser. Der Laserstrahl ist schädlich und kann zu Verletzungen speziell im Auge führen. Schauen sie deshalb nicht direkt in das Austrittfenster des Laserstrahls. Magnescale behält es sich vor, Produktspezifikationen ohne vorherige Ankündigung zu ändern. |
||
| Modell | BH25-RE | BH25-NE |
| Messlänge L (mm) | 30/70/120/170/220/270/320/370/420 (ZERO-Glas, Alkalifreies Glas) | |
| Gesamtlänge | Messlänge + 26 mm | |
| Maximale Verfahrlänge | Messlänge + 10 mm | |
| Genauigkeit (bei 20 °C) | ±0,5 µm (30 mm bis 170 mm); ±1,0 µm (220 mm bis 420 mm) | |
| Gitterteilung | 1,0 µm | |
| Signalperiode | 250 nm | |
| Referenzpunkt / Bezugspunkt | Ein Punkt | Kein |
| Richtung der Referenzpunkt- / Bezugspunkterkennung |
Unidirektional | － |
| Wärmeausdehnungskoeffizient | ZERO-Glas : -0,1×10-6/°C / Alkalifreies Glas : 3,7×10-6/°C | |
| Lichtquelle | Halbleiterlaser Wellenlänge 790 nm, Max. Ausgabe 6 mW | |
| Erkennungsmethode | Beugungsgitterabtastung | |
| Betriebstemperatur | +10 bis +30 °C (keine Kondensation) | |
| Lagertemperatur | -10 bis +50 °C (Luftfeuchtigkeit weniger als 60 %) | |
| Maximale Ansprechgeschwindigkeit | 1.800 mm/s | |
| Ausgangssignal | Interpolator-Anschluss, etc. | |
| Auflösung | Abhängig von der Anzahl der Interpolator-Teilungen | |
Abmessungen
Bedienungsanleitung
Katalog
| BH25 Serie | Englisch |  |
|---|---|---|
| BH25 Serie | Japanisch | |