株式会社マグネスケール

Laserscale

BH25

Produktübersicht

Hochgenaues Längenmesssystem mit reflektierendem Laserscalefunktionsprinzip mit einer Signalperiode von 250 nm.
Ideal für Low-Profile-Tische, Halbleiter-Back-End-Bearbeitungsgeräte und Präzisionsmikroskope

  • Signalperiode: 250 nm
  • Hohe Genauigkeit : ±1 µm/420 mm (Natronkalkglas, Glas mit geringer Wärmeausdehnung), ±5 µm/640 mm (Glas mit fast keiner Wärmeausdehnung, Alkalifreies Glas)
  • Hohe Ansprechgeschwindigkeit: 1.800 mm/s
  • Maximale Auflösung : 3,8 pm
  • Mit oder ohne Referenzpunkt / Bezugspunkt erhältlich
  • Kontaktloses Messsystem ohne Hysterese
  • Maßstab: Natronkalkglas, Glas mit geringer Wärmeausdehnung, Glas mit fast keiner Wärmeausdehnung, Alkalifreies Glas
  • Dünner Lesekopf mit einer Dicke von 12 mm
  • Unterstützt verschiedene Auflösungen und Ausgabemodi (Abhängig von einem Interpolator wie z.B. BD700)
  • Nicht-magnetische und Vakuum-kompatible SonderModellle erhältlich

Spezifikationen

Spezifikationen

Die Laserscale nutzen einen Halbleiterlaser. Der Laserstrahl ist schädlich und kann zu Verletzungen speziell im Auge führen. Schauen sie deshalb nicht direkt in das Austrittfenster des Laserstrahls.

Magnescale behält es sich vor, Produktspezifikationen ohne vorherige Ankündigung zu ändern.

Modell BH25-RED BH25-NED
Messlänge 30 / 70 / 120 / 170 / 220 / 270 / 320 / 370 / 420 mm
(Glas mit geringer Wärmeausdehnung, Natronkalkglas)
30 / 70 / 120 / 170 / 220 / 270 / 320 / 370 / 420 / 470 / 520 / 570 / 640 mm
(Glas mit fast keiner Wärmeausdehnung, Alkalifreies Glas)
Gesamtlänge Messlänge + 26 mm
Maximale Verfahrlänge Messlänge + 10 mm
Genauigkeit (bei 20 °C) ±0,5 µm (30 mm bis 170 mm);
±1,0 µm (220 mm bis 420 mm);
±5,0 µm (470 mm bis 640 mm)
Gitterteilung 1,0 µm
Signalperiode 0.25 µm (250 nm)
Referenzpunkt / Bezugspunkt Ein Punkt Kein
Richtung der Referenzpunkt- /
Bezugspunkterkennung
Unidirektional Kein
Wärmeausdehnungskoeffizient -0,7×10-6/°C (Glas mit geringer Wärmeausdehnung)
8×10-6/°C (Natronkalkglas)
-0,1×10-6/°C (Glas mit fast keiner Wärmeausdehnung)
3,7×10-6/°C (Alkalifreies Glas)
Lichtquelle Halbleiterlaser Wellenlänge 790 nm, Max. Ausgabe 6 mW
Erkennungsmethode Beugungsgitterabtastung
Betriebstemperatur +10 bis +30 °C (keine Kondensation)
Lagertemperatur -10 bis +50 °C (Luftfeuchtigkeit weniger als 60 %)
Maximale Ansprechgeschwindigkeit 1.800 mm/s
Ausgangssignal Interpolator BD700
Auflösung Abhängig von der Anzahl der Interpolator-Teilungen

Abmessungen

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Bedienungsanleitung

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Katalog

BH25 Serie Englisch BH25 Katalog Englisch PDF

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