株式会社マグネスケール

Laserscale

BS78

BS78の特徴

高速・高分解能でありながら、安定した超精密測定を実現。精密ステージ、半導体検査・製造装置、超精密加工機などに最適。

  • 光波干渉計を超える信号波長138nmの高分解能スケール
  • 湿度・気圧・空気の乱れに影響を受けない高安定性
  • 原点精度:±0.1µm
  • 精度:±0.04µm以下(有効長40mm)
  • 完全非接触 原理的に戻り誤差が発生しません
  • 有効長:40~420mm、9種類(-R/-RS)
  • 有効長:10~420mm、10種類(-N/-NS)
  • 真空、非磁性対応(特殊仕様)
  • 低膨長ガラス使用:-0.7×10-6/℃(有効長:10~420mm)
  • 分解能:2.1pm

スペック

主な仕様

レーザスケールは半導体レーザを使用しています。レーザ光は人体に有害ですので、検出ヘッド部をのぞき込まないようにしてください。

記載内容は予告なしに変更する場合があります。

型名 BS78
有効長:L(mm) 10/40/70/120/170/220/270/320/370/420(10はN/NSのみ)
スケール全長 58mm(有効長10mm:片持ちタイプ) 有効長+26mm(有効長40~420mm)
最大可動長 有効長+2mm(有効長10mm:片持ちタイプ) 有効長+10mm(有効長40~420mm)
精度(20℃にて)
  • NSタイプ/RSタイプ:
  • ±0.03μm(有効長10mm)(NSタイプのみ)
  • ±0.04μm(有効長40mm)
  • ±0.10μm(有効長70/120mm)
  • ±0.18μm(有効長170/220mm)
  • ±0.25μm(有効長270mm)
  • ±0.34μm(有効長320mm)
  • ±0.39μm(有効長370mm)
  • ±0.44μm(有効長420mm)
  • Nタイプ、Rタイプ:
  • ±0.06μm(有効長10mm)(Nタイプのみ)
  • ±0.08μm(有効長40mm)
  • ±0.20μm(有効長70/120mm)
  • ±0.35μm(有効長170/220mm)
  • ±0.50μm(有効長270~370mm)
  • ±0.65μm(有効長420mm)
格子ピッチ 約0.55μm
信号波長 約0.138μm(約138nm)
原点精度 ±0.1μm(R/RSタイプのみ)
原点位置 中央および中央から左右へ各50mm毎(320、370、420mmの有効長のみ50mm間隔で中央より20mmオフセット)
原点検出方向 片方向
温度膨張係数 -0.7×10-6/℃
光源 半導体レーザ 波長790nm 出力6mW
放射パワー DHHSクラス1
検出方式 回折格子走査式
使用温度範囲 10℃~30℃(結露不可)
保存温度範囲 -10℃~50℃(湿度60%以下)
最大応答速度 400mm/s

外形寸法図

製品名 2D 3D
日本語 英語
BS78 N Download Download
BS78 NS Download Download
BS78 R Download Download
BS78 RS Download Download

取扱説明書

製品名 日本語 英語 ドイツ語
BS78 Download Download Download

カタログ

BS78 Series 日本語 BS78 カタログ 日本語 PDF
BS78 Series 英語 BS78 カタログ 英語 PDF

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