BS78

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BS78の特徴

高速・高分解能でありながら、安定した超精密測定を実現。精密ステージ、半導体検査・製造装置、超精密加工機などに最適。

光波干渉計を超える信号波長138nmの高分解能スケール
湿度・気圧・空気の乱れに影響を受けない高安定性
原点精度:±0.1µm
精度:±0.04µm以下(有効長40mm)
完全非接触原理的に戻り誤差が発生しません
有効長:40～420mm、9種類(-R/-RS)
有効長:10～420mm、10種類(-N/-NS)
真空、非磁性対応(特殊仕様)
低膨長ガラス使用:－0.7×10^-6/℃(有効長:10～420mm)
分解能:2.1pm

スペック

主な仕様
レーザスケールは半導体レーザを使用しています。レーザ光は人体に有害ですので、検出ヘッド部をのぞき込まないようにしてください。記載内容は予告なしに変更する場合があります。
型名	BS78
有効長：L(mm)	10/40/70/120/170/220/270/320/370/420(10はN/NSのみ)
スケール全長	58mm(有効長10mm：片持ちタイプ)　有効長+26mm(有効長40～420mm)
最大可動長	有効長＋2mm(有効長10mm：片持ちタイプ)　有効長＋10mm(有効長40～420mm)
精度(20℃にて)	NSタイプ/RSタイプ： ±0.03μm（有効長10mm）(NSタイプのみ） ±0.04μm（有効長40mm） ±0.10μm（有効長70／120mm） ±0.18μm（有効長170／220mm） ±0.25μm（有効長270mm） ±0.34μm（有効長320mm） ±0.39μm（有効長370mm） ±0.44μm（有効長420mm）	Nタイプ、Rタイプ： ±0.06μm（有効長10mm）(Nタイプのみ） ±0.08μm（有効長40mm） ±0.20μm（有効長70／120mm） ±0.35μm（有効長170／220mm） ±0.50μm（有効長270～370mm） ±0.65μm（有効長420mm）
格子ピッチ	約0.55μm
信号波長	約0.138μm（約138nm）
原点精度	±0.1μm(R/RSタイプのみ)
原点位置	中央および中央から左右へ各50mm毎(320、370、420mmの有効長のみ50mm間隔で中央より20mmオフセット)
原点検出方向	片方向
温度膨張係数	－0.7×10^-6/℃
光源	半導体レーザ波長790nm　出力6mW
放射パワー	DHHSクラス1
検出方式	回折格子走査式
使用温度範囲	10℃～30℃(結露不可)
保存温度範囲	－10℃～50℃(湿度60％以下)
最大応答速度	400mm/s

外形寸法図

製品名		2D		3D
製品名		日本語	英語	3D
BS78	N	Download	Download	–
BS78	NS	Download	Download	–
BS78	R	Download	Download	–
BS78	RS	Download	Download	–

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