株式会社マグネスケール

Laserscale

BS65

BS65の特徴

高分解能かつ安定した超精密測長を実現。原点を内蔵した、高精度・オープンタイプのレーザスケール

  • 信号波長 : 138nm
  • 高精度原点を内蔵 精度:±0.1µm
  • スケール有効長 : 160~960mmの9機種ラインアップ
  • レーザ光波干渉計並みの高精度、高分解能
     分解能:2.1pm
     精度:L<460:(0.1+0.4L/100) µmp-p L≧460:3µmp-p L:有効長(mm)
  • マグネスケール並みの扱い易さと信頼性(取付・調整)
  • 空気の流れ、気圧変化に対して安定
  • 青板ガラス使用:8×10-6/℃(有効長 : 160~960mm)
  • 主な用途:半導体製造装置、検査機器、精密加工機器、精密測定器・試験機など

スペック

主な仕様

レーザスケールは半導体レーザを使用しています。レーザ光は人体に有害ですので、検出ヘッド部をのぞき込まないようにしてください。

記載内容は予告なしに変更する場合があります。

有効長 : L(mm) 160/260/360/460/560/660/760/860/960
スケール全長 有効長+36mm
最大可動長 有効長+10mm(片側各5mm)
精度(20℃にて) L<460:(0.1+0.4L/100)μmp-p L≧460:3μmp-p L:有効長(mm)
格子ピッチ 約0.55μm
信号波長 約0.138μm(約138nm)
原点精度 ±0.1μm
原点位置 中央および中央から左右へ各50mm毎
原点検出方向 片方向
戻り誤差 原理的にありません。
繰返し精度 原理的にありません。
温度膨張係数 8×10-6/℃
光源 半導体レーザ 波長790nm 出力6mW
放射パワー DHHS クラス1
検出方式 回折格子走査式
使用温度範囲 10℃~30℃(結露不可)
保存温度範囲 -10℃~50℃(温度60%以下)
最大応答速度 400mm/s

外形寸法図

製品名 2D 3D
日本語 英語
BS65 R Download

Internet Explorer上における外形寸法図ファイルのダウンロードについて

当サイト推奨ブラウザは以下とさせていただいております。

Microsoft Edge最新版
Google Chrome最新版
Apple Safari最新版
Mozilla Firefox最新版

Internet Explorerに関しては以下の対処法で外形寸法図ファイルを開いていただけますようよろしくお願いいたします。

手順①
リンク文字上で右クリックする。

手順②
「対象をファイルに保存」を左クリックする。

手順③
ファイル名の拡張子を「~.htm」⇒「~.dxf」または「~.stp」に変更し、任意の場所(デスクトップやドキュメントなど)に保存する。

取扱説明書

製品名 日本語 英語 ドイツ語
BS65 Download Download Download

カタログ

BS65 Series 日本語 BS65 カタログ 日本語 PDF
BS65 Series 英語 BS65 カタログ 英語 PDF

※ファイルが見つからない場合はお問合せください。