株式会社マグネスケール

Laserscale

BL50H

BL50Hの特徴

高分解能と高速度を両立させた制御用スケール。ステージの高速制御やピコメートルレベルの微細制御用スケールとしてだけでなく、チルトテーブルの高分解能傾き制御用センサとしても使用可能。

  • 最高分解能 : 6.1 pm、最高速度 : 5 m/s
  • ±30 minの広い角度許容
  • 長寿命のレーザダイオードを搭載
  • 低ノイズ
  • BD700との組み合わせで優れた内挿精度

スペック

スケールユニット

主な仕様

記載内容は予告なしに変更する場合があります。

型名 BL50H-SZ***** BL50H-SA*****
スケール材質 ZEROガラス 0.1×10-6/℃ 無アルカリガラス 3.7×10-6/℃
有効長 30~570mm
格子ピッチ 1.6μm
原点 無 / 有:センター1か所
精度
(20℃にて)
±0.1μm/500mm(インタポレータBD700補正時)、±0.5μm/30mm~120mm、±1μm/170mm~270mm、
±1.5μm/320mm~370mm、±3μm/420mm~570mm(特殊仕様で±1.5μm)
内挿精度 ±50pm(インタポレータBD700使用時)

ヘッドユニット

主な仕様

(※) : インタポレータBD700にてA/B相、各社シリアルインターフェース、アナログ出力に変換

レーザスケールは半導体レーザを使用しています。レーザ光は人体に有害ですので、検出ヘッド部をのぞき込まないようにしてください。

記載内容は予告なしに変更する場合があります。

型名 BL50H-FS***D BL50H-FS***H
出力信号 インタポレータBD700接続 (※) アナログ 1Vp-p
信号波長 400nm
最小分解能 6.1pm
最大応答速度 3m/s(特殊対応で5m/s) 5m/s
クリアランス ZEROガラス:3.4±0.2mm 無アルカリガラス:3.8±0.2mm
角度許容値 ヨーイング:±8.7mrad ピッチング:±8.7mrad ローリング:±8.7mrad
ヘッドケーブル長 1m、3m、6m 0.5m、1m、3m
使用温度範囲 +10℃~+40℃(結露不可)

外形寸法図

製品名 2D 3D
日本語 英語
BL50H Download

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カタログ

 

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