BL50H

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BL50Hの特徴

高分解能と高速度を両立させた制御用スケール。ステージの高速制御やピコメートルレベルの微細制御用スケールとしてだけでなく、チルトテーブルの高分解能傾き制御用センサとしても使用可能。

最高分解能 : 6.1 pm、最高速度 : 5 m/s
±30 minの広い角度許容
長寿命のレーザダイオードを搭載
低ノイズ
BD700との組み合わせで優れた内挿精度

スペック

スケールユニット

主な仕様
記載内容は予告なしに変更する場合があります。
型名	BL50H-SZ＊＊＊＊＊	BL50H-SA＊＊＊＊＊
スケール材質	ZEROガラス　0.1×10^-6/℃	無アルカリガラス　3.7×10^-6/℃
有効長	30~570ｍｍ
格子ピッチ	1.6μm
原点	無　/　有：センター1か所
精度（20℃にて）	±0.1μm/500mm（インタポレータBD700補正時）、±0.5μm/30mm~120mm、±1μm/170mm~270mm、 ±1.5μm/320mm~370mm、±3μm/420mm~570mm（特殊仕様で±1.5μm）
内挿精度	±50pm(インタポレータBD700使用時）

ヘッドユニット

主な仕様
(※) : インタポレータBD700にてA/B相、各社シリアルインターフェース、アナログ出力に変換
レーザスケールは半導体レーザを使用しています。レーザ光は人体に有害ですので、検出ヘッド部をのぞき込まないようにしてください。記載内容は予告なしに変更する場合があります。
型名	BL50H-FS＊＊＊D	BL50H-FS＊＊＊H
出力信号	インタポレータBD700接続 (※)	アナログ　1Vp-p
信号波長	400nm
最小分解能	6.1pm	－
最大応答速度	3m/s（特殊対応で5m/s）	5m/s
クリアランス	ZEROガラス:3.4±0.2mm　無アルカリガラス:3.8±0.2mm
角度許容値	ヨーイング:±8.7mrad　ピッチング:±8.7mrad　ローリング:±8.7mrad
ヘッドケーブル長	1m、3m、6m	0.5m、1m、3m
使用温度範囲	+10℃～+40℃（結露不可）

外形寸法図

製品名	2D		3D
製品名	日本語	英語	3D
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