株式会社マグネスケール

Laserscale

BH25

BH25の特徴

信号波長250nmの高精度反射型レーザスケール。薄型ステージ・半導体後工程機器・精密顕微鏡に最適。

  • 信号波長:250nm
  • 高精度:±1μm/420mm
  • 高速応答:1,800mm/s
  • 最高分解能:3.8 pm
  • ラインナップ:原点付、原点無し
  • 完全非接触:原理的に戻り誤差がありません。
  • スケール部:ZEROガラス、無アルカリガラス
  • 厚み:12mmの薄型ヘッド
  • 各種分解能、出力形式に対応(BD96等インターポレータによる)
  • 真空(特殊仕様品)

スペック

主な仕様

レーザスケールは半導体レーザを使用しています。レーザ光は人体に有害ですので、検出ヘッド部をのぞき込まないようにしてください。

記載内容は予告なしに変更する場合があります。

型名 BH25-RED BH25-NED
有効長(mm) 30/70/120/170/220/270/320/370/420/470/520/570/640
(ZEROガラス、無アルカリガラス)
スケール全長 有効長+26mm
最大可動長 有効長+10mm
精度(20℃にて) ±0.5μm(30mm-170mm) ±1.0μm(220mm-420mm)
格子ピッチ 1.0μm
信号波長 0.25μm(250nm)
原点位置 1点
原点検出方向 片方向
温度膨張係数 -0.7×10-6/℃(低膨張ガラス) 8×10-6/℃(青板ガラス)
光源 半導体レーザ 波長790nm 出力6mW
検出方式 回折格子走査式
使用温度範囲 10℃~30℃(結露不可)
保存温度範囲 -10℃~50℃(湿度は60%以下のこと)
最大応答速度 1,800mm/s
出力信号 インターポレータ接続等
出力分解能 インターポレータ分割数に依存

外形寸法図

取扱説明書

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カタログ

BH25 Series 日本語 BH25 カタログ 日本語 PDF
BH25 Series 英語 BH25 カタログ 英語 PDF

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