2017月12月6日
2017年12月13日~12月15日 10:00~17:00 (東京ビッグサイト)
東2ホール2735
株式会社マグネスケールは12月13日(水)~15日(金)までの3日間の日程で開催される【SEMICON Japan 】 (東京ビッグサイト)に出展いたします。
マグネスケールは半導体・液晶の次世代装置へ向けて、アウトガスや非磁性対策のレーザスケールで超高分解能位置決めをご提案致します。ブースでは、1/1000秒を検出可能なチルトステージの計測デモや超分解能非接触変位計及び真空対応の高精度レーザスケールラインナップをご覧いただけるほか、装置精度校正用途の2次元スケールや高精度ロータリエンコーダシステムもご用意いたします。皆様のご来場を心からお待ちしております。
日時 | 2017年12月13日(水)~15日(金) 10:00~17:00 |
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会場 | 東京ビッグサイト 東展示棟2号館2735 |
SEMICON Japan 2017公式webサイト | http://www.semiconjapan.org/jp/ |
カテゴリ | 出展機種名 | 出展機種の特徴 |
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校正用途レーザスケール | 2次元スケール | 直交度±0.2秒の2次元スケールはXYステージのエンコーダの校正に最適。干渉計と比較して驚くほど簡単に校正可能。 |
高精度ロータリエンコーダ | 精度0.2秒を実現した校正用ロータリエンコーダ | |
小型ロータリスケール | BH20 | ロータリスケールは半径42mmの大口径から6mmの超小型までラインナップが豊富。わずか0.06gで半径6mmのスケールでも0.6nradの超高分解能を誇り、ガルバノ制御やポルゴンミラーの制御に最適です。 |
真空対応リニアレーザスケール | BS78 | 全シリーズ真空に対応可能。 BS78は2.1pmの分解能と±3pm低ノイズを実現した最高精度のレーザスケール。 |
BH25 | BH25は3.8pmの分解能を実現しながら、0.3nm/℃の優れた環境温度依存性で長期的に低ドリフトな計測を可能にしています。 | |
BL57 | 高速対応のBL57シリーズは100pmの分解能を持ちながら3m/sの最高スピードを実現しています。 | |
BF1 | BF1シリーズは最も広い取付許容を持っています。 | |
装置組込搬送用直線マグネスケール | SmartSCALE | 50nm分解能でスケールとヘッドが非接触なスマートスケールは水やスラッジ等の悪環境でも動作可能。また、装置組込用の小型スケール・ヘッドもご提案致します。 |
以上
お問い合わせ先:社長室 info-mgs@magnescale.com