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2018月12月12日

新レーザスケールラインナップ
リニアエンコーダシステム BL50Hシリーズを発表

株式会社マグネスケールは、2019年3月に新リニアエンコーダシステムBL50Hシリーズを発売いたします。
BL50Hシリーズは、レーザスケールの格子干渉方式の原理を踏襲し、6.1pmの最小分解能で最大応答速度
5m/sを実現しています。
レーザスケールの特長でもある、広い角度許容、優れた内挿精度、低ノイズ特性、静止安定性を受け継ぎながら、長寿命レーザダイオードを新規採用し、検出ヘッドの小型化に成功しています。スケールは取付けスペースを小さくできる反射型で、1D / 1.5D / 2Dの3タイプをラインナップします。 同時発売の高機能インターポレータBD700と組み合わせることで、幅広いインターフェースに対応、さらに累積精度補正などが可能です。
ステージの高速制御からピコメートルレベルの微細位置制御用のリニアエンコーダとして、加えてチルトテーブルの高分解能傾き制御用センサとしても、半導体プロセス全般の製造検査装置に幅広くお使いいただけます。

概要

製品発売日 2019年3月29日

BL50H 外形寸法図

BL50H 主な仕様

機種名BL50H
特徴 反射型レーザスケール、大気用と真空用の2種
スケール 熱膨張係数 ZERO: 1×10-7以内、イーグルXG: 4×10-6
最大有効長 1D ZERO: 960 mm イーグルXG: 1400 mm
標準タイプ幅15 mm、スリムタイプ幅10 mm
最大有効長 1.5D ZERO: 850 mm イーグルXG: 850 mm
最大有効長 2D ZERO: 500×600 mm、イーグルXG: 500×600 mm
原点 片方向
精度 ±1 μm, ±3 μm
信号波長 400 nm
最小分解能 6.1 pm (BD700接続時)
内挿精度 ±50 pm (BD700接続時)
出力 アナログ1 V (p-p)、シリアル (安川電機、ファナック、三菱電機、マグネスケールに対応予定)、A/B相、USB
※シリアル、A/B相、アナログは同時出力可能
最大応答速度 3.2 m/s(特殊仕様で5 m/sまで対応可能)
リニアエンコーダシステム(1D) リニア+チルト検知用エンコーダシステム(1.5D) 二次元エンコーダシステム(2D)

以上

お問い合わせ先:社長室 info-mgs@magnescale.com