2019月12月6日

SEMICON Japan 2019の出展について

2019年12月11日～12月13日東京ビックサイト

西2ホール　4234

株式会社マグネスケールは12月11日(水)～13日(金)の3日間の日程で開催される【SEMICON Japan 2019 (東京ビックサイト)】に出展いたします。

高い分解能と応答速度を両立させた創立50周年記念モデルのレーザスケールBL50Hを展示いたします。 6.1ピコメートルの超高分解能かつ秒速5メートルという高速応答性を備えた新製品で半導体製造装置、液晶パネル製造装置に広くご使用いただけます。

また、全周で±0.2秒以内の高精度で角度を検出する非接触自己校正型ロータリエンコーダは、装置校正用の基準器としても最適です。

二次元スケールに超高精度非接触変位計を組み合わせ、三次元計測のご提案もしています。

皆様のご来場を心からお待ちしております。

概要

日時	2019年12月11日(水)～13日(金)　10:00～17:00
会場	東京ビッグサイト　西2ホール　4234
SEMICON Japan 2019公式webサイト	https://www.semiconjapan.org/jp/

50周年記念モデルとなる、半導体製造工程の製造検査装置に幅広く適用可能なリニアエンコーダの新ラインナップを紹介。
2018年度精密工学会技術賞を受賞し、全周で0.2秒以下の角度精度を実現した高精度ロータリエンコーダの角度補正デモ。
超高精度な平面形状計測を実現するZセンサ『BN100』と2次元スケールを組み合わせた三次元計測のご提案。
次世代のナノテクノロジーをリードする超高精度・超高分解能レーザスケール『BS78 シリーズ』や真空対応スマートスケール（磁気スケール）など豊富なラインナップを展示。

以上

お問い合わせ先:社長室 info-mgs@magnescale.com