2012月12月26日

SEMICON Korea 2013出展について

2013年1月30日～2月1日 10:00～17:00 (最終日16:00) COEX（韓国ソウル)

HALL C 1204

株式会社マグネスケールは2013年1月30日～2月1日までの3日間の日程で開催される【SEMICON Korea 2013　（韓国・ソウル）】に出展いたします。

ブースでは、レーザスケールの新製品　『ＢＦシリーズ』　を出展いたします。この『BFシリーズ』は、450 mm ウェハーに対応する長尺スケールとその真空、非磁性モデルなど、様々なアプリケーションに対応したモデルを取り揃えております。その他、多軸の検出が一枚のスケールで可能な超高精度次世代レーザスケールなど、豊富なラインアップをご紹介いたします。皆様のご来場を心からお待ちしております。

主な展示内容

450 mmウェハーに対応可能な長尺レーザスケール
取付許容範囲の広いレーザスケール『BF1』のデモンストレーション
真空、非磁性に対応可能なレーザスケール　『BF2』
X-Z軸の検出が一枚のスケールで可能な次世代レーザスケール　『BF５』　(参考出展)
高精度でありながら高い安定性を持つレーザスケールを用いたナノ制御デモンストレーション
高分解能2次元 (X-Y) レーザスケール『BE100』

主な出展製品

商品名	出展機種
レーザスケール	BF1 ： 1400 mm有効長のスケール（標準モデル）
	BF2 ： 1400 mm有効長のスケール (真空モデル)
	BF5 ： X-Zエンコーダ　＊参考出展
	BE100 ： 2次元スケール
	BS78 + BD95-T32

展示ブースイメージ図

以上

お問い合わせ先:社長室 info-mgs@magnescale.com