2012月2月21日
pm(ピコメートル)分解能非接触変位計の開発について
株式会社マグネスケールはこのたび、pm（ピコメートル）分解能の非接触変位計を開発しました。
今回開発した非接触変位計は、弊社の超高精度スケールであるレーザスケール*と同じ、格子干渉計タイプの変位計で、検出信号波長は138nm（ナノメートル）、数mmの区間をpm（ピコメートル）分解能で測定する事が可能です。測定対象は反射面が基本ですが、1次元や2次元のスケール面の検出も可能なため、この変位計を加えて2次元、3次元測定が可能となります。
すでに開発済みの2次元レーザスケールとあわせてこの変位計を使用すると、半導体製造装置で不可欠な高精度ステージ等で、3次元計測が可能となります。また、数mmの範囲がpm（ピコメートル）分解能で計測可能となる事から、今後ますます高精度化する半導体ウエハの平面度計測や、光学部品等の形状測定等、多様な用途で使用できる事が期待できます。
*レーザスケール:ホログラムをスケールとして使用する格子干渉計方式の高分解能スケール。主に半導体製造装置や光学部品の金型加工機に用いられる
非接触変位計の主な仕様・アプリケーション
| 信号波長 | 138nm（ナノメートル） |
|---|---|
| 分解能 | 8.4pm（ピコメートル）（16384分割） |
| 作動距離 | 3mm |
| 測定距離 | ±1mm |
| 主なアプリケーション | 半導体製造、検査装置の高精度ステージ制御、平面度計測、工作機械のキャリブレーション等 |
発売開始時期
2012年8月末
生産ビジネス
| 初年度生産予定数量 | 500個 |
|---|---|
| 初年度売上目標金額 | 約2億円 |
予定価格
| 標準仕様 | 30万円 |
|---|---|
| 高精度仕様 | 60万円 |
非接触変位計(画像)
以上
お問い合わせ先:社長室 info-mgs@magnescale.com