株式会社マグネスケール

Laserscale Productsレーザスケール製品

レーザスケールの分解能は、
ついにPicoの世界へ

レーザスケールの分解能は、ナノ領域どころかピコの世界をも超えようとしています。お客様のご要望を先取りした分解能の開発スピードはまさにムーアの法則※通り。レーザスケールが提供できる高い分解能と安定性が最先端の計測と位置決め制御を支えています。次世代の半導体製造やカメラレンズの金型加工など、高精度・高分解能が必要な分野ではレーザスケールが必要不可欠です。さらに1 次元から2次元へ、そしてZセンサによる3次元にまで計測対象を拡げ、角度も世界最高峰の精度を誇るエンコーダを開発するなど、需要の先取りを続けています。

※ムーアの法則(Moore’s Law)
半導体チップの集積密度に関する法則で、1~2年毎に倍増するというもの。Intelの創設者の一人、ゴードン・ムーアが1965年に発表した経験則です。

レーザスケールの特徴

  • 格子干渉方式スケール

    検出原理に自ら開発した格子干渉計を使用しているため、温度・気圧・空気の乱れに影響を受けない計測および制御を実現します。

  • ホログラフィックに
    作られたスケール

    描画形式ではなくホログラフィック形式で作られたスケールのため、リニアリティに優れた出力信号を得ることができます。

  • 優れた内挿処理技術

    独自の内挿回路、補正技術により、優れた内挿精度を得ることができます。

技術トピックス

保護されたホログラム格子
超高分解能 信号のS/Nが高い

アプリケーション

  • 超精密ステージ(真空対応)

  • 表面粗さ輪郭測定器

  • 半導体製造検査装置

  • 非接触微細形状測定

  • 形状研削盤/導光板加工機

  • 非球面加工機

ラインナップ

  • シリーズ
  • 仕様
  • 型名、材質
  • BSシリーズ

    最高分解能2.1 pm
    信号波長138 nm
    低ノイズ4 pm
    最大有効長
    低膨張ガラス420 mm
    青板ガラス960 mm
    熱膨張係数
    低膨張ガラス-0.7×10-6/℃
    青板ガラス8×10-6/℃
    最大応答速度400 mm/s

    透過型超高分解能
    レーザスケール

    BS78、BS65
    スケール材質:低膨張ガラス (BS78)
    青板ガラス (BS65)

  • BHシリーズ

    最高分解能3.8 pm
    信号波長250 nm
    最大有効長640 mm
    熱膨張係数
    ZEROガラス0.1×10-6/℃
    無アルカリガラス3.7×10-6/℃
    最大応答速度1,800 mm/s

    反射型超高分解能
    レーザスケール

    BH25
    スケール材質:ZEROガラス
    無アルカリガラス

  • BLシリーズ

    最高分解能6.1 pm
    信号波長400 nm
    最大有効長570 mm
    速度
    BD700接続時3,000 mm/s
    アナログ出力5,000 mm/s
    熱膨張係数
    ZEROガラス0.1×10-6/℃
    無アルカリガラス3.7×10-6/℃

    反射型高速
    レーザスケール

    BL50H
    スケール材質:ZEROガラス
    無アルカリガラス

  • BLシリーズ

    最高分解能10 nm
    信号波長400 nm
    最大有効長
    低膨張ガラス420 mm
    青板ガラス1060 mm
    熱膨張係数
    低膨張ガラス-0.7×10-6/℃
    青板ガラス8×10-6/℃
    最大応答速度3,000 mm/s

    透過型高速
    レーザスケール

    BL57
    スケール材質:低膨張ガラス
    青板ガラス

  • BHシリーズ

    最高分解能1.5 nrad
    信号波長250 nm

    反射型超高分解能
    レーザスケール

    BH20
    スケール材質:白板ガラス

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