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BS65Laserscale

BS65 Laserscale
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  • 取扱説明書
  • カタログ

特徴

高分解能かつ安定した超精密測長を実現。原点を内蔵した、高精度・オープンタイプのレーザスケール

  • 信号波長 : 138nm
  • 高精度原点を内蔵 精度:±0.1μm
  • スケール有効長 : 160~960mmの9機種ラインアップ
  • レーザ光波干渉計並みの高精度、高分解能
    • 精度:(0.1+0.4L/100)μmp-p(L<460mm)
    • L:有効長(mm)
  • マグネスケール並みの扱い易さと信頼性(取付・調整)
  • 空気の流れ、気圧変化に対して安定
  • 青板ガラス使用:8×10-6/℃(有効長 : 160~960mm)
  • 主な用途:半導体製造装置、検査機器、精密加工機器、精密測定器・試験機など

スペック

主な仕様

レーザスケールは半導体レーザを使用しています。レーザ光は人体に有害ですので、検出ヘッド部をのぞき込まないようにしてください。

記載内容は予告なしに変更する場合があります。

有効長 : L(mm)160/260/360/460/560/660/760/860/960
スケール全長有効長+36mm
最大可動長有効長+10mm(片側各5mm)
精度(20℃にて)L<460:(0.1+0.4L/100)μmp-p L≧460:3μmp-p L:有効長(mm)
格子ピッチ約0.55μm
信号波長約0.138μm(約138nm)
原点精度±0.1μm
原点位置中央および中央から左右へ各50mm毎
原点検出方向片方向
戻り誤差原理的にありません。
繰返し精度原理的にありません。
温度膨張係数8×10-6/℃
光源 半導体レーザ 波長790nm 出力6mW
放射パワーDHHS クラス1
検出方式回折格子走査式
使用温度範囲10℃~30℃(結露不可)
保存温度範囲-10℃~50℃(温度60%以下)
最大応答速度400mm/s(BD96接続時)

外形寸法図

製品名共通日本語英語
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取扱説明書

製品名日本語英語ドイツ語簡体字繁体字
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カタログ

BS65 Series日本語BS65 カタログ 日本語 PDF
BS65 Series英語BS65 カタログ 英語 PDF

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Laserscaleとは?