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BH25Laserscale

BH25 Laserscale
  • 特徴
  • スペック
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  • 取扱説明書
  • カタログ

特徴

信号波長250nmの高精度反射型レーザスケール。薄型ステージ・半導体後工程機器・精密顕微鏡に最適。

  • 信号波長:250nm
  • 高精度:±1μm/420mm
  • 高速応答:700mm/s
  • 最高分解能:0.03125nm
  • ラインナップ:原点付、原点無し
  • 完全非接触:原理的に戻り誤差がありません。
  • スケール部:青板ガラス・低膨張ガラス
  • 厚み:12mmの薄型ヘッド
  • 各種分解能、出力形式に対応(BD96等インターポレータによる)
  • 真空(特殊仕様品)

スペック

主な仕様

レーザスケールは半導体レーザを使用しています。レーザ光は人体に有害ですので、検出ヘッド部をのぞき込まないようにしてください。

記載内容は予告なしに変更する場合があります。

型名BH25-REDBH25-NED
有効長(mm)30/70/120/170/220/270/320/370/420(低膨張ガラス、青板ガラス)
スケール全長有効長+26mm
最大可動長有効長+10mm
精度(20℃にて)±0.5μm(30mm-170mm) ±1.0μm(220mm-420mm)
格子ピッチ1.0μm
信号波長 0.25μm(250nm)
原点位置1点
原点検出方向片方向
温度膨張係数 -0.7×10-6/℃(低膨張ガラス) 8×10-6/℃(青板ガラス)
光源半導体レーザ 波長790nm 出力6mW
検出方式回折格子走査式
使用温度範囲10℃~30℃(結露不可)
保存温度範囲-10℃~50℃(湿度は60%以下のこと)
最大応答速度700mm/s(BD96接続時)
出力信号インターポレータBD96接続
出力分解能BD96接続(分割数に依存)

外形寸法図

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取扱説明書

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カタログ

BH25 Series日本語BH25 カタログ 日本語 PDF
BH25 Series英語BH25 カタログ 英語 PDF

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