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BF1Laserscale

BF1 Laserscale
  • 特徴
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  • 取扱説明書
  • カタログ

特徴

信号波長(250 nm)の高分解能反射型レーザスケールで、幅広いアプリケーションをサポート

  • ホログラム格子を保護することにより、簡単なメンテナンスを実現
  • LED表示で容易な信号確認
  • 広い取り付け許容範囲
  • 主な用途:半導体検査装置、精密旋盤、精密研削盤、液晶製造・検査装置

スペック

主な仕様

(注)弊社営業までお問い合わせください

型名AHM・P・Y・G
出力信号A/B 相アナログ各社シリアル
有効長:(mm)30/70/120/170/220/270/320/370/420/470/
520/570/670/770/870/970/1070/1170/1270/1400
スケール全長 有効長 + 26 mm
最大可動長有効長 + 10 mm
格子ピッチ1.0 μm
信号波長0.25μm(250 nm)
最高分解能0.000625 μm (625 pm)-0.00005 μm (50 pm) (注)
精度(20℃にて)±0.5 μm (30~170 mm) / ±1 μm (220~370 mm) / ±3 μm (420~520 mm) / ±5 μm (570~970 mm) /±10 μm (1,070~1,400 mm)
リニアリティ (20℃にて)±3 μm (570~1,400 mm)
原点位置有効長内1点、精度 ±0.25 μm
線膨張係数0.5 x 10-6 /℃ (石英ガラス)、8 x 10-6 /℃ (青板ガラス)
最大応答速度表1参照1,800 mm/s1,800 mm/s (注)
ケーブル長0.5 / 1 m
電源+5 V(±5 %)
消費電流300 mA (無負荷) 350 mA (120 Ω終端時)280 mA ( 無負荷) 300 mA (120 Ω終端時)
光源半導体レーザ 波長 655 nm
放射パワーJIS クラス 2、DHHS クラス 2、EN60825 クラス 2
使用温度範囲+10 ~ +40 ℃ (結露不可)
保存温度範囲-10 ~ +50 ℃
表1
分解能最小位相差50 ns最小位相差100 ns
最大応答速度 (mm/s)型名最大応答速度 (mm/s)型名
0.015625 μm (15.625 nm)180J120R
0.0078125 μm (7.8125 nm) 90K58S
0.00625 μm (6.25 nm)70L45T
0.0025 μm (2.5 nm)27M18U
0.00125 μm (1.25 nm)14N9V
0.00078125 μm (0.78125 nm)9P5.8W
0.000625 μm (625 pm)7Q4.5Y

レーザスケールは半導体レーザを使用しています。レーザ光は人体に有害ですので、検出ヘッド部をのぞき込まないようにしてください。

記載内容は予告なしに変更する場合があります。

外形寸法図

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取扱説明書

製品名日本語英語ドイツ語簡体字繁体字
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BF1Analog / AB quad output type Download Download Download

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カタログ

BF1日本語BD95 カタログ 日本語 PDF

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